(1).谓使法制完善。《荀子·君道》：“至道大形，隆礼至法，则国有常；尚贤使能，则民知方。”
(2).谓至高无上的法律。《汉书·外戚传下·孝成许皇后》：“洿秽不修，旷职尸官，数逆至法，踰越制度，当伏放流之诛，不足以塞责。”
(3).谓最神妙的佛法或法术。 南朝 宋 宗炳 《明佛论》：“今曾无暂应，皆咎在无缘，而反诬至法空构。”《初刻拍案惊奇》卷三一：“你有些小福分，该在我至法中进身，却是面有败气未除，也要谨慎。”